什么是干法刻蚀【相关词_ 干法刻蚀】

问答题简答题什么是干法刻蚀?什么是湿法刻蚀?比较二者的优缺点。 参考答案1)干法腐蚀是应用等离子技术的腐蚀方法,刻蚀气体在反应器中等离子化,与被刻蚀材料反应(或溅

【名词解释】各向同性干法刻蚀

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