氧等离子体刻蚀【相关词_ 等离子体刻蚀】

利于平行于金刚石膜表面的刻蚀 ,效地保护了金刚石膜的晶界和缺陷 。关键词 :非对称磁镜场 ;电子回旋共振 ;氧等离子体 ;刻蚀 ;化学气相沉积 6 ; 59中图分类号 : TQ1 4 O 3文献

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