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题麻烦速度答案线等基本工艺要求理想刻蚀工艺必须具特点:①各向异性刻蚀即垂直刻蚀没横向钻蚀才能保证精确刻蚀薄膜复制与抗蚀剂完全致几何图形;②良刻蚀选择性即作

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