日本干法刻蚀设备【相关词_ 干法刻蚀设备】

据日经BP社报道,日本Ulvac Inc日前面向LED及LD制造推出了一款最新干法刻蚀设备APIOS NE-950,生产能力较先前产品提高了五倍。该设备将在Semicon Japan 2007上展出。

Ulvac在Semicon Japan展出新款干法刻蚀设备

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