pecvd的优点【相关词_ pecvd】

问答题论述题简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。 参考答案APCVD——一些最早的CVD工艺是在大气压下进行的,由于反应速率快,CVD系统简单,适于较厚的介质淀积。

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