能生产的光刻机是90nm,下一步是60nm。台积电有几台28nm的光刻机,是买的荷兰的。 最新消息,中芯国际定了7nm的光刻机,按照顺序21个月可取货,就是2019年。 4个回答被折
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光刻机领域国内接近世界先进水平,9nm线宽光
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