单晶硅片外延基座腐蚀【相关词_ 单晶硅外延片】

耐腐蚀、气密性好,因此具有很好的高温物理、化学性能,是当今特种陶瓷领域中的高端产品和前沿课题。由于该基座是生产单晶硅和氮化镓外延等半导体行业基础材料的关键部

单晶硅片磨片的技术应用

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