硅片用啥抛光液【相关词_ 硅片抛光液】

采用SiO2抛光液进行硅片抛光加工,目前多采用化学机械抛光(CMP)技术。抛光工艺中有粗抛光和精抛光之分,故有粗抛光液和精抛光液品种之分。预计在2005年-2010年期间,在

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