DSC碱性硅晶片抛光液,它的PH值范围为8~13,粒径为15nm~150nm,它是由磨料、PH调节剂、表面活性剂和水混合组成。该抛光液是碱性,不腐蚀污染设备,容易清洗;硅抛光速率
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