反应磁控溅射法【相关词_ 磁控溅射法】

本文采用直流反应磁控溅射法用Zn(99.99%)掺Al(1.5%)靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜,用XRD、AFM、SEM、XPS和紫外可见、红外分光光度计等测试手段对沉积的

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