磁控溅射法【相关词_ 磁控溅射法原理】

【摘要】采用磁控溅射法,在室温,溅射功率为80W的条件下,选取不同的压强,在石英玻璃和聚酯薄膜(PET)衬底上分别制成了高透过率的ITO薄膜,并进行了性能对比,并得出柔性衬

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