pecvd作用【相关词_ pecvd】

【摘要】:用傅里叶红外吸收(FT-IR)光谱研究了等离子体化学气相沉积法(PECVD)制备的 何乐年;PECVD非晶SiO_2薄膜的红外吸收特性研究[J];功能材料;2002年01期 何乐年;P

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