cvd镀膜工作原理【相关词_ cvd镀膜】

请问CVD(化学气相沉积)镀膜的原理及应用?越详细越好!谢了!其含义是气相中化学反应的固体产物沉积到表面。CVD装置由下列部件组成;反应物供应系统,气相反应器,气流

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