磁控溅射电源_珠州盛普电源

阐述了真空磁控溅射阴极常用靶电源的不同种类、主要特点、技术性能、负载特性及应用范围;同时对各靶电源的选型、安装接线及使用注意事项作了详细说明。 真空技术网-

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